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    ¹¤ÒµÆøÌåÖ÷Òª·ÖÀà

    ¸üÐÂʱ¼ä£º2017-09-26 21:22:10

            1.ÌØÖÖÆøÌå¡¡(Specialty gases) £ºÖ¸ÄÇЩÔÚÌØ¶¨·¶³ëÖÐÓ¦ÓõÄ, ¶ÔÆøÌåÓÐÌØÊâ¿ÒÇóµÄ´¿Æø¡¢¸ß´¿Æø»òÓɸߴ¿µ¥ÖÊÆøÌåÅäÖÆµÄ¶þÔª»ò¶àÔª»ìºÏÆø¡£ÌØÖÖÆøÌåÃÅÀà·±¶à, ͨ³£¿ÉÇø·ÖΪµç×ÓÆøÌå¡¢±ê×¼Æø¡¢»·±£Æø¡¢Ò½ÓÃÆø¡¢º¸½ÓÆø¡¢É±¾úÆøµÈ, ÆÕ±éÓÃÓÚµç×Ó¡¢µçÁ¦¡¢Ê¯ÓÍ»¯¹¤¡¢²É¿ó¡¢¸ÖÌú¡¢ÓÐÉ«½ðÊôÒ±Á¶¡¢ÈÈÁ¦¹¤³Ì¡¢Éú»¯¡¢»·¾³¼à²â¡¢Ò½Ñ§ÑÐÌÖ¼°Õï¶Ï¡¢Ê³Æ·±£Ïʵȷ¶³ë¡£

    ¡¡¡¡2. ±ê×¼ÆøÌå¡¡(Standard gases) £º±ê×¼ÆøÌåÊôÓÚ±ê×¼ÎïÖÊ¡£±ê×¼ÎïÖÊÊǸ߶ȾùÔȵÄ¡¢Á¼ºÃÎȶ¨ºÍÁ¿Öµ)׼ȷµÄ²â¶¨±ê×¼, ËüÃǾßÓи´ÏÖ¡¢±£¹ÜºÍ´«ËÍÁ¿ÖµµÄ»ù±¾×÷ÓÃ, ÔÚÎïÀí¡¢»¯Ñ§¡¢ÉúÎïÓ빤³ÌÕÉÁ¿·¶³ëÖÐÓÃÓÚУ׼ÕÉÁ¿ÒÇÆ÷ºÍÕÉÁ¿¹ý³Ì, ÆÀ¼ÛÕÉÁ¿·½·¨µÄ׼ȷ¶ÈºÍ¼ì²âʵÑéÊҵļì²â²Å¸É, ¿Ï¶¨²ÄÁÏ»ò²úÆ·µÄÌØÐÔÁ¿Öµ, ÖÐÖ¹Á¿ ÖµÖٲõÈ¡£´óÐÍÒÒÏ©³§¡¢ºÏ³É°±³§¼°ÆäËüʯ»¯ÆóÒµ, ÔÚ×°Öÿª³µ¡¢Í£³µºÍÕý³£Ïû·Ñ¹ý³ÌÖÐÐèÇó¼¸Ê®ÖÖ´¿ÆøºÍ¼¸°ÙÖÖ¶à×é·Ö±ê×¼»ìºÏÆø, ÓÃÀ´Ð£×¼¡¢¶¨±êÏû·Ñ¹ý³ÌÖÐÔËÓõÄÔÚÏß·ÖÎöÒÇÆ÷ºÍ·ÖÎöÔ­Áϼ°²úÖÊÁ¿Á¿µÄÒÇÆ÷¡£±ê×¼Æø»¹¿ÉÓÃÓÚ»·¾³¼à²â, Óж¾µÄÓлúÎïÕÉÁ¿, Æû³µÅÅ·ÅÆø²âÊÔ, ×ÔÈ»ÆøBTU ÕÉÁ¿, Òº»¯Ê¯ÓÍÆøÐ£Õý¹ì·¶, ³¬ÁÙ½çÁ÷Ì幤Òյȡ£±ê×¼ÆøÊÓÆøÌå×é·ÖÊýÇø·ÖΪ¶þÔª¡¢ÈýÔªºÍ¶àÔª±ê×¼ÆøÌå; Å䯸׼¶È¿ÒÇóÒÔÅ䯸ÔʲîºÍ·ÖÎöÔʲîÀ´±íÕ÷;±È½ÏͨÓõÄÓÐSE2M I Å䯸Ôʲî±ê×¼, µ«¸÷¹«Ë¾¾ùÓÐÆóÒµ±ê×¼¡£×é·ÖµÄ×îµÍŨ¶ÈΪ10- 6¼¶, ×é·ÖÊý¿É¶à´ï20ÓàÖÖ¡£ÅäÖÆ·½·¨¿É²ÉÓÃÖØÁ¿·¨, È»ºóÓÃÉ«Æ×·ÖÎöУºË, Ò²¿É°´±ê×¼´«ËͳÌÐòÖÐÖ¹´«ËÍ¡£

    ¡¡¡¡3¡¢µç×ÓÆøÌå¡¡(Elect ron ic gases) £º°ëµ¼Ì幤ҵÓÃµÄÆøÌåͳ³Æµç×ÓÆøÌå¡£°´ÆäÃÅÀà¿É·ÖΪ´¿Æø¡¢¸ß´¿4 _6 m+ p- _4ÆøºÍ°ëµ¼ÌåÌØÊâ²ÄÁÏÆøÌåÈý´óÀà¡£ÌØÊâ²ÄÁÏÆøÌåÖ÷ÒªÓÃÓÚÍâÑÓ¡¢²ôÔÓºÍÊ´¿Ì¹¤ÒÕ£»¸ß´¿ÆøÌåÖ÷ÒªÓÃ×÷Ï¡ÊÍÆøºÍÔËÔØÆø¡£µç×ÓÆøÌåÊÇÌØÖÖÆøÌåµÄÒ»¸öÖØÒª·ÖÖ§¡£µç×ÓÆøÌå°´´¿¶ÈµÈ¼¶ºÍÔËÓó¡Ëù£¬¿É·ÖΪµç×Ó¼¶¡¢L S I (´ó·¶Î§¼¯³Éµç·) ¼¶¡¢VL S I (³¬´ó·¶Î§¼¯³Éµç·) ¼¶ºÍUL S I (ÌØ´ó·¶Î§¼¯³Éµç·)¼¶¡£

    ¡¡¡¡4. ÍâÑÓÆøÌå¡¡(Cp itax ial gases) £ºÔÚÈÏÕæÑ¡ÔñµÄ³Äµ×ÉϲÉÓû¯Ñ§ÆøÏàµí»ý(CVD) µÄ·½·¨Éú³¤Ò»²ã»ò¶à²ã²ÄÁÏËùÓÃÆøÌå³ÆÎªÍâÑÓÆøÌå¡£¹èÍâÑÓÆøÌåÓÐ4 ÖÖ, ¼´¹èÍé¡¢¶þÂȶþÇâ¹è¡¢ÈýÂÈÇâ¹èºÍËÄÂÈ»¯¹è, Ö÷ÒªÓÃÓÚÍâÑÓ¹èµí»ý, ¶à¾§¹èµí»ý, µí»ýÑõ»¯¹èĤ, µí»ýµª»¯¹èĤ, Ì«Ñôµç³ØºÍÆäËû¹â¸ÐÊÜÆ÷µÄ·Ç¾§¹èĤµí»ý¡£ÍâÑÓÉú³¤ÊÇÒ»ÖÖµ¥¾§²ÄÁϵí»ý²¢Éú³¤ÔڳĵױíÃæÉϵĹý³Ì¡£´ËÍâÑÓ²ãµÄµç×èÂʳ£³£Óë³Äµ×²»Í¬¡£

    ¡¡¡¡5. Ê´¿ÌÆøÌå¡¡(Etch ing gases) £ºÊ´¿Ì¾ÍÊǰѻùƬÉÏÎÞ¹â¿Ì½ºÑڱεļӹ¤±íÃæÈçÑõ»¯¹èĤ¡¢½ðÊôĤµÈÊ´¿Ìµô, ¶øÊ¹Óйâ¿Ì½ºÑڱεÄÇøÓò±£¹ÜÏÂÀ´, ÕâÑù±ãÔÚ»ùƬ±íÃæµÃµ½ËùÐèÇóµÄ³ÉÏñͼÐΡ£Ê´¿ÌµÄ»ù±¾¿ÒÇóÊÇ, ͼÐαßÔµ»®Ò», ÏßÌõÃ÷Îú, ͼÐα任²îС, ÇÒ¶Ô¹â¿Ì½ºÄ¤¼°ÆäÑÚ±Îά»¤µÄ±íÃæÎÞËðÉ˺Í×êÊ´¡£Ê´¿Ì·½Ê½ÓÐʪ·¨»¯Ñ§Ê´¿ÌºÍ¸É·¨»¯Ñ§Ê´¿Ì¡£¸É·¨Ê´¿ÌËùÓÃÆøÌå³ÆÊ´¿ÌÆøÌå, ͨ³£¶àΪ·ú»¯ÎïÆøÌå, ÀýÈçËÄ·ú»¯Ì¼¡¢Èý·ú»¯µª¡¢Áù·úÒÒÍ顢ȫ·ú±ûÍé¡¢Èý·ú¼×ÍéµÈ¡£¸É·¨Ê´¿ÌÓÉÓÚÊ´¿Ì·½ÏòÐÔÇ¿¡¢¹¤ÒÕ¿ØÖƾ«È·¡¢±ãµ±¡¢ÎÞÍѽºÏÖÏó¡¢ÎÞ»ùƬËðÉ˺ÍÕ´ÎÛ, ËùÒÔ

    ¡¡¡¡ÆäÓ¦Ó÷¶Î§ÈÕÒæÆÕ±é¡£

    ¡¡¡¡1. ÌØÖÖÆøÌå¡¡(Specialty gases) £ºÖ¸ÄÇЩÔÚÌØ¶¨·¶³ëÖÐÓ¦ÓõÄ, ¶ÔÆøÌåÓÐÌØÊâ¿ÒÇóµÄ´¿Æø¡¢¸ß´¿Æø»òÓɸߴ¿µ¥ÖÊÆøÌåÅäÖÆµÄ¶þÔª»ò¶àÔª»ìºÏÆø¡£ÌØÖÖÆøÌåÃÅÀà·±¶à, ͨ³£¿ÉÇø·ÖΪµç×ÓÆøÌå¡¢±ê×¼Æø¡¢»·±£Æø¡¢Ò½ÓÃÆø¡¢º¸½ÓÆø¡¢É±¾úÆøµÈ, ÆÕ±éÓÃÓÚµç×Ó¡¢µçÁ¦¡¢Ê¯ÓÍ»¯¹¤¡¢²É¿ó¡¢¸ÖÌú¡¢ÓÐÉ«½ðÊôÒ±Á¶¡¢ÈÈÁ¦¹¤³Ì¡¢Éú»¯¡¢»·¾³¼à²â¡¢Ò½Ñ§ÑÐÌÖ¼°Õï¶Ï¡¢Ê³Æ·±£Ïʵȷ¶³ë¡£

    ¡¡¡¡2¡¢±ê×¼ÆøÌå¡¡(Standard gases) £º±ê×¼ÆøÌåÊôÓÚ±ê×¼ÎïÖÊ¡£±ê×¼ÎïÖÊÊǸ߶ȾùÔȵÄ¡¢Á¼ºÃÎȶ¨ºÍÁ¿Öµ×¼È·µÄ²â¶¨±ê×¼, ËüÃǾßÓи´ÏÖ¡¢±£¹ÜºÍ´«ËÍÁ¿ÖµµÄ»ù±¾×÷ÓÃ, ÔÚÎïÀí¡¢»¯Ñ§¡¢ÉúÎïÓ빤³ÌÕÉÁ¿·¶³ëÖÐÓÃÓÚУ. d( [×¼ÕÉÁ¿ÒÇÆ÷ºÍÕÉÁ¿¹ý³Ì, ÆÀ¼ÛÕÉÁ¿·½·¨µÄ׼ȷ¶ÈºÍ¼ì²âʵÑéÊҵļì²â²Å¸É, ¿Ï¶¨²ÄÁÏ»ò²úÆ·µÄÌØÐÔÁ¿Öµ, ÖÐÖ¹Á¿ÖµÖٲõÈ¡£´óÐÍÒÒÏ©³§¡¢ºÏ³É°±³§¼°ÆäËüʯ»¯ÆóÒµ, ÔÚ×°Öÿª³µ¡¢Í£³µºÍÕý³£Ïû·Ñ¹ý³ÌÖÐÐèÇó¼¸Ê®ÖÖ´¿ÆøºÍ¼¸+°ÙÖÖ¶à×é·Ö±ê×¼»ìºÏÆø, ÓÃÀ´Ð£×¼¡¢¶¨±êÏû·Ñ¹ý³ÌÖÐÔËÓõÄÔÚÏß·ÖÎöÒÇÆ÷ºÍ·ÖÎöÔ­Áϼ°²úÖÊÁ¿Á¿µÄÒÇÆ÷¡£±ê×¼Æø»¹¿ÉÓÃÓÚ»·¾³¼à²â, Óж¾µÄÓлúÎïÕÉÁ¿, Æû³µÅÅ·ÅÆø²âÊÔ, ×ÔÈ»ÆøBTU ÕÉÁ¿, Òº»¯Ê¯ÓÍÆøÐ£Õý¹ì·¶, ³¬ÁÙ½çÁ÷Ì幤Òյȡ£±ê×¼ÆøÊÓÆøÌå×é·ÖÊýÇø·ÖΪ¶þÔª¡¢ÈýÔªºÍ¶àÔª±ê×¼ÆøÌå; Å䯸׼¶È¿ÒÇóÒÔÅ䯸ÔʲîºÍ·ÖÎöÔʲîÀ´±íÕ÷;±È½ÏͨÓõÄÓÐSE2M I Å䯸Ôʲî±ê×¼, µ«¸÷¹«Ë¾¾ùÓÐÆóÒµ±ê×¼¡£×é·ÖµÄ×îµÍŨ¶ÈΪ10- 6¼¶, ×é·ÖÊý¿É¶à´ï20ÓàÖÖÅäÖÆ·½·¨¿É²ÉÓÃÖØÁ¿·¨, È»ºóÓÃÉ«Æ×·ÖÎöУºË, Ò²¿É°´±ê×¼´«ËͳÌÐòÖÐÖ¹´«ËÍ¡£

    ¡¡¡¡3¡¢ µç×ÓÆøÌå¡¡(Elect ron ic gases) £º°ëµ¼Ì幤ҵÓÃµÄÆøÌåͳ³Æµç×ÓÆøÌå¡£°´ÆäÃÅÀà¿É·ÖΪ´¿Æø¡¢¸ß´¿ÆøºÍ°ëµ¼ÌåÌØÊâ²ÄÁÏÆøÌåÈý´óÀà¡£ÌØÊâ²ÄÁÏÆøÌåÖ÷ÒªÓÃÓÚÍâÑÓ¡¢²ôÔÓºÍÊ´¿Ì¹¤ÒÕ£»¸ß´¿ÆøÌåÖ÷ÒªÓÃ×÷Ï¡ÊÍÆøºÍÔËÔØÆø¡£µç×ÓÆøÌåÊÇÌØÖÖÆøÌåµÄÒ»¸öÖØÒª·ÖÖ§¡£µç×ÓÆøÌå°´´¿¶ÈµÈ¼¶ºÍÔËÓó¡Ëù£¬¿É·ÖΪµç×Ó¼¶¡¢L S I (´ó·¶Î§¼¯³Éµç·) ¼¶¡¢VL S I (³¬´ó·¶Î§¼¯³Éµç·) ¼¶ºÍUL S I (ÌØ´ó·¶Î§¼¯³Éµç·)¼¶¡£

    ¡¡¡¡4. ÍâÑÓÆøÌå¡¡(Cp itax ial gases) £ºÔÚÈÏÕæÑ¡ÔñµÄ³Äµ×ÉϲÉÓû¯Ñ§ÆøÏàµí»ý(CVD) µÄ·½·¨Éú³¤Ò»²ã»ò¶à²ã²ÄÁÏËùÓÃÆøÌå³ÆÎªÍâÑÓÆøÌå¡£¹èÍâÑÓÆøÌåÓÐ4 ÖÖ, ¼´¹èÍé¡¢¶þÂȶþÇâ¹è¡¢ÈýÂÈÇâ¹èºÍËÄÂÈ»¯¹è, Ö÷ÒªÓÃÓÚÍâÑÓ¹èµí»ý, ¶à¾§¹èµí»ý, µí»ýÑõ»¯¹èĤ, µí»ýµª»¯¹èĤ, Ì«Ñôµç³ØºÍÆäËû¹â¸ÐÊÜÆ÷µÄ·Ç¾§¹èĤµí»ý¡£ÍâÑÓÉú³¤ÊÇÒ»ÖÖµ¥¾§²ÄÁϵí»ý²¢Éú³¤ÔڳĵױíÃæÉϵĹý³Ì¡£´ËÍâÑÓ²ãµÄµç×èÂʳ£³£Óë³Äµ×²»Í¬¡£

    ¡¡¡¡5. Ê´¿ÌÆøÌå¡¡(Etch ing gases) £ºÊ´¿Ì¾ÍÊǰѻùƬÉÏÎÞ¹â¿Ì½ºÑڱεļӹ¤±íÃæÈçÑõ»¯¹èĤ¡¢½ðÊôĤµÈÊ´¿Ìµô, ¶øÊ¹Óйâ¿Ì½ºÑڱεÄÇøÓò±£¹ÜÏÂÀ´, ÕâÑù±ãÔÚ»ùƬ±íÃæµÃµ½ËùÐèÇóµÄ³ÉÏñͼÐΡ£Ê´¿ÌµÄ»ù±¾¿ÒÇóÊÇ, ͼÐαßÔµ»®Ò», ÏßÌõÃ÷Îú, ͼÐα任²îС, ÇÒ¶Ô¹â¿Ì½ºÄ¤¼°ÆäÑÚ±Îά»¤µÄ±íÃæÎÞËðÉ˺Í×êÊ´¡£Ê´¿Ì·½Ê½ÓÐʪ·¨»¯Ñ§Ê´¿ÌºÍ¸É·¨»¯Ñ§Ê´¿Ì¡£¸É·¨Ê´¿ÌËùÓÃÆøÌå³ÆÊ´¿ÌÆøÌå, ͨ³£¶àΪ·ú»¯ÎïÆøÌå, ÀýÈçËÄ·ú»¯Ì¼¡¢Èý·ú»¯µª¡¢Áù·úÒÒÍ顢ȫ·ú±ûÍé¡¢Èý·ú¼×ÍéµÈ¡£¸É·¨Ê´¿ÌÓÉÓÚÊ´¿Ì·½ÏòÐÔÇ¿¡¢¹¤ÒÕ¿ØÖƾ«È·¡¢±ãµ±¡¢ÎÞÍѽºÏÖÏó¡¢ÎÞ»ùƬËðÉ˺ÍÕ´ÎÛ, ËùÒÔÆäÓ¦Ó÷¶Î§ÈÕÒæÆÕ±é¡£

    ¡¡¡¡6. ²ôÔÓÆøÌå(Dopant Gases)£ºÔÚ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þºÍ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖÐ, ½«Ä³ÖÖ»òijЩÔÓÖʲôÈë°ëµ¼Ìå²ÄÁÏÄÚ, ÒÔʹ²ÄÁϾßÓÐËùÐèÇóµÄµ¼µçÀàÐͺÍÒ»¶¨µÄµç×èÂÊ, ÓÃÀ´ÖÆÔìPN½á¡¢µç×è¡¢Âñ²ãµÈ¡£²ôÔÓ¹¤ÒÕËùÓÃµÄÆøÌå²ôÔÓÔ´±»³ÆÎª²ôÔÓÆøÌå¡£Ö÷Òª°üÀ¨ÉéÍé¡¢Á×Íé¡¢Èý·ú»¯Áס¢Îå·ú»¯Áס¢Èý·ú»¯Éé¡¢Îå·ú»¯Éé¡¢ÈýÂÈ»¯ÅðºÍÒÒÅðÍéµÈ¡£Í¨³£½«²ôÔÓÔ´ÓëÔËÔØÆøÌå(Èçë²ÆøºÍµªÆø) ÔÚÔ´¹ñÖлìºÏ, »ìºÏºóÆøÁ÷Á¬ÐøÁ÷ÈëÀ©É¢Â¯ÄÚ»·Èƾ§Æ¬ËÄÖÜ, ÔÚ¾§Æ¬±íÃæ¶Ñ»ýÉÏ»¯ºÏÎï²ôÔÓ¼Á, ½ø¶øÓë¹è·´ÏìÉú³É²ôÔÓ½ðÊô¶øá㶯½øÈë¹è¡£

    ¡¡¡¡7. ѬÕôÆøÌå(Sterilizing Gases) £º¾ßÓÐɱ¾ú×÷ÓÃµÄÆøÌå³ÆÑ¬ÕôÆøÌå¡£³£ÓÃµÄÆøÌ寷ÖÖÓл·ÑõÒÒÍé¡¢Á×Íé¡¢äå¼×Íé¡¢äå¼×È©¡¢»·Ñõ±ûÍéµÈ¡£ÆäÃð¾úÔ­ÀíÊÇÓ¦ÓÃÍ黯×÷ÓÃ, ʹ΢ÉúÎï×éÖ¯ÄÚά³ÖÉúÃü²»¿ÉȱÉÙµÄÎïÖʶ軯¡£×î¾­³£ÔËÓõÄÊÇÒÔ²»Í¬±ÈÀýÅäÖÆµÄ»·ÑõÒÒÍéºÍ¶þÑõ»¯Ì¼µÄ»ìºÏÆø, ¸ù¾ÝÓÃ;²»Í¬, »·ÑõÒÒÍéµÄº¬Á¿¿ÉÒÔÊÇ10 %¡¢20 %ºÍ30 %µÈ¡£Ò²¿É²ÉÓû·ÑõÒÒÍéºÍ·úÀû°º12 µÄ»ìºÏÆø,»·ÑõÒÒÍéÓë·úÀû°º11 ºÍ·úÀû°º12 µÄ»ìºÏÆøµÈ¡£É±¾úЧ¹ûÓë¸÷×é·ÖŨ¶È¡¢Î¶È¡¢Êª¶È¡¢Ê±¼äºÍѹÁ¦µÈÒªËØÓйØ¡£Ñ¬ÕôÆøÌå¿ÉÒÔÓÃÓÚÎÀÉú²ÄÁÏ¡¢Ò½ÁÆÓþß¡¢»¯×°Æ·Ô­ÁÏ¡¢¶¯ÎïËÇÁÏ¡¢Á¸Ê³¡¢Ö½³®¡¢ÏãÀ±

    ¡¡¡¡8. º¸½Óά»¤ÆøÌå(Welding Gases)£ºÆøÌåά»¤º¸ÓÉÓÚ¾ßÓк¸½ÓÖÊÁ¿ºÃ, ЧÂʸß, Ò×Íê³É×Ô¶¯»¯µÈÓÅµã¶øµÃÒÔ¼²ËÙÕ¹¿ª¡£º¸½Óά»¤ÆøÌå¿ÉÒÔÊǵ¥ÔªÆøÌå, Ò²ÓжþÔª¡¢ÈýÔª»ìºÏÆø¡£²ÉÓú¸½Óά»¤ÆøµÄÄ¿µÄÔÚÓÚ½ø²½º¸·ìÖÊÁ¿, ¼õÉÙº¸·ì¼ÓÈÈ×÷Óôø¿í¶È, ±ÜÃâ²ÄÖÊÑõ»¯¡£µ¥ÔªÆøÌåÓÐë²Æø¡¢¶þÑõ»¯Ì¼, ¶þÔª»ìºÏÆøÓÐ벺ÍÑõ, 벺ͶþÑõ»¯Ì¼, 벺ͺ¤, 벺ÍÇâ»ìºÏÆø¡£ÈýÔª»ìºÏÆøÓк¤¡¢ë²¡¢¶þÑõ»¯Ì¼»ìºÏÆø¡£Ó¦ÓÃÖÐÊÓº¸²Ä²»Í¬Ñ¡Ôñ²»Í¬Åä±ÈµÄº¸½Ó»ìºÏÆø¡£

    ¡¡¡¡9. Àë×Ó×¢ÈëÆø( Gases for Ion Implantation)£ºÀë×Ó×¢ÈëÊǰÑÀë×Ó»¯µÄÔÓÖÊ, ÀýÈçP + ¡¢B + ¡¢As+¼ÓËÙµ½¸ßÄÜÁ¿×´Ì¬,È»ºó×¢Èëµ½Ô¤¶¨µÄ³Äµ×ÉÏ¡£Àë×Ó×¢Èë¼¼ÊõÔÚ¿ØÖÆV th(ãÐÖµµçѹ) ·½ÃæÓ¦ÓõÃ×îΪÆÕ±é¡£×¢ÈëµÄÔÓÖÊÁ¿¿É¾­¹ýÕÉÁ¿Àë×ÓÊøµçÁ÷¶øÇóµÃ¡£Àë×Ó×¢È빤ÒÕËùÓÃÆøÌ峯Àë×Ó×¢ÈëÆø, ÓÐÁ×ϵ¡¢ÅðϵºÍÉéÏµÆøÌå¡£

    ¡¡¡¡10. ·ÇÒº»¯ÆøÌå(Nonliquefied Gases)£º½ôËõÆøÌåÒÀ¾ÝÓÚÒ»¶¨Ñ¹Á¦ºÍζÈÏÂÔÚÆøÆ¿ÖеÄÎïÀí״̬ºÍ·Ðµã·¶Î§¿ÉÒÔÇø·ÖΪÁ½´óÀà, ¼´Òº»¯ÆøÌåºÍ·ÇÒº»¯ÆøÌå¡£·ÇÒº»¯ÆøÌåϵָ³ýÈܽâÔÚÈÜÒºÖÐµÄÆøÌåÖ®Íâ, ÔÚ2111 ¡æºÍ¹ÞװѹÁ¦ÏÂÍêºÃÊÇÆøÌ¬µÄÆøÌå¡£Ò²¿É¶¨ÒåΪÔÚÕý³£¿ÕÖÐζȺÍ13789¡«17237kPa ѹÁ¦Ï²»Òº»¯µÄÆøÌå¡£

    ¡¡¡¡11. Òº»¯ÆøÌå( Liquefied Gases )£ºÔÚ2111 ¡æºÍ¹ÞװѹÁ¦Ï²¿·ÖÒº»¯µÄÆøÌå¡£»ò¶¨ÒåΪÔÚÕý³£Î¶ȺÍ172142¡«17237kPa ѹÁ¦ÏÂÔÚÆøÆ¿ÖÐÒº»¯µÄÆøÌå¡£½ôËõÆøÌå(Compressed Gases) ¡¡½ôËõÆøÌåÊÇÖ¸ÔÚ2111 ¡æÏÂ, ÔÚÆøÆ¿Öоø¶ÔѹÁ¦³¬Ô½27518kPa µÄÈÎºÎÆøÌå»ò»ìºÏÎï; »òÓë2111 ¡æÏµÄѹÁ¦ÎÞ¹Ø, ÓÚ5414 ¡æÏ¾ø¶ÔѹÁ¦³¬Ô½717kPa µÄÈÎºÎÆøÌå»ò»ìºÏÎï; »òÓÚ3718 ¡æÏÂÆøÌå¾ø¶ÔѹÁ¦³¬27518kPa µÄÈκÎÒºÌå¡£

    ¡¡¡¡12. Ï¡ÓÐÆøÌå(Rare Gases)£ºÔªËØÖÜÆÚ±í×îºóÒ»×åµÄÁùÖÖ¶èÐÔÆøÌåÖеÄÈκÎÒ»ÖÖÆøÌå, ¼´º¤¡¢ÄÊ¡¢ë²¡¢ë´¡¢ë¯¡¢ë±¡£Ç°ÎåÖÖÆøÌå¾ù¿ÉÒÔ¿ÕÆø·Ö±ð·½·¨´Ó¿ÕÆøÖÐÌáÈ¡¡£

    ¡¡¡¡13. µÍѹҺ»¯ÆøÌå(Low P ressu re L iquef ied Gases) £ºÁÙ½çζȴóÓÚ70¡æµÄÆøÌå¡£Çø·ÖΪ²»È¼ÎÞ¶¾ºÍ²»È¼Óж¾¡¢ËáÐÔ¸¯Ê´ÐÔÆøÌå; ¿ÉȼÎÞ¶¾ºÍ¿ÉȼÓж¾¡¢ËáÐÔ¸¯Ê´ÐÔÆøÌå; Ò׺ϳɻò¾ÛºÏµÄ¿ÉÈ¼ÆøÌå¡£´ËÀàÆøÌåÔÚ³äװʱÒÔ¼°ÔÚÔÊÐíµÄ¹¤×÷ζÈÏÂÖüÔ˺ÍÔËÓùý³ÌÖоùΪҺ̬¡£°üÀ¨µÄÆøÌ寷ÖÖÓÐÒ»·ú¶þÂȼ×Íé¡¢¶þ·úÂȼ×Íé¡¢¶þ·ú¶þÂȼ×Íé¡¢¶þ·úäåÂȼ×Íé¡¢Èý·úÂÈÒÒÍé¡¢ËÄ·ú¶þÂÈÒÒÍé¡¢Îå·úÂÈÒÒÍé¡¢°Ë·ú»·¶¡Íé¡¢Áù·ú±ûÏ©¡¢ÂÈ¡¢ÈýÂÈ»¯Åð¡¢¹âÆø¡¢·ú»¯Çâ¡¢ä廯Çâ¡¢¶þÑõ»¯Áò¡¢Áòõ£·ú¡¢¶þÑõ»¯µª¡¢ÒºÑ¹Ê¯ÓÍÆø¡¢±ûÍé¡¢»·±ûÍé¡¢±ûÏ©¡¢Õý¶¡Íé¡¢Òì¶¡Íé¡¢1- ¶¡Ï©¡¢Òì¶¡Ï©¡¢Ë³- 2-¶¡Ï©¡¢·´- 2- ¶¡Ï©¡¢R142b¡¢R 143a¡¢R152a¡¢ÂÈÒÒÍé¡¢¶þ¼×ÃÑ¡¢°±¡¢ÒÒ°·¡¢Ò»¼×°·¡¢¶þ¼×°·¡¢Èý¼×°·¡¢¼×Áò´¼¡¢Áò»¯Çâ¡¢Âȼ×Íé¡¢äå¼×Íé¡¢ÉéÍé¡¢1, 3¡ª¶¡¶þÏ©¡¢ÂÈÒÒÏ©¡¢»·ÑõÒÒÍé¡¢ÒÒÏ©»ù¼×ÃÑ¡¢äåÒÒÏ©¡£

    ¡¡¡¡14. ¸ßѹҺ»¯ÆøÌå(H igh P ressu re L iquef iedGases) £ºÁÙ½çζȴóÓÚ»òµÈÓÚ- 10¡æÇÒСÓÚ»òµÈÓÚ70¡æµÄÆøÌå¡£Çø·ÖΪ²»È¼ÎÞ¶¾ºÍ²»È¼Óж¾ÆøÌå; ¿ÉȼÎÞ¶¾ºÍ×ÔȼÓж¾ÆøÌå; Ò׺ϳɻò¾ÛºÏµÄ¿ÉÈ¼ÆøÌå¡£´ËÀàÆøÌå³äװʱΪҺ̬,µ«ÔÚÔÊÐíµÄ¹¤×÷ζÈÏÂÖüÔ˺ÍÔËÓùý³ÌÖÐÆäÕôÆûÑ¹ËæÎ¶ȵÄÉý¸ß¶øÉý¸ß, ³¬Ô½ÁÙ½çζÈʱÕô·¢ÎªÆøÌå¡£Ëù°üÀ¨µÄÆøÌ寷ÖÖÓÐÒ»Ñõ»¯¶þµª¡¢¶þÑõ»¯Ì¼¡¢Èý·ú¼×Íé¡¢Èý·úÂȼ×Íé¡¢Èý·úäå¼×Íé¡¢Áù·úÒÒÍé¡¢Áù·ú»¯Áò¡¢ë¯¡¢ÂÈ»¯Çâ¡¢ÒÒÍé¡¢ÒÒÏ©¡¢1, 1- ¶þ·úÒÒÏ©¡¢¹èÍé¡¢Á×Íé¡¢·úÒÒÏ©¡¢ÒÒÅðÍé¡£


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